Solution totale pour l’air pur de la microélectronique
Solution microélectronique globale
Avec la transformation réussie de la Chine d’un « géant manufacturier » en un « géant de la fabrication de qualité », un grand nombre d’entreprises manufacturières de haute technologie bien connues ont émergé dans le pays, et de nombreux projets de haute technologie ont également été mis en œuvre et réalisés dans de nombreux endroits du pays.
Il n’y a pas si longtemps, une usine de plaquettes de 12 pouces qui venait d’être construite en Chine se concentrerait sur la recherche et le développement de la technologie de traitement 19 nm pour la production de DRAM (Dynamic Random Access Memory). Une fois le projet mis en service, la capacité de production mensuelle maximale atteindra 125 000 plaquettes, comblant ainsi le vide dans l’industrie chinoise de la fabrication de DRAM haut de gamme et occupant une place parmi les fabricants mondiaux de DRAM.
Protéger la « puce chinoise »
La mise en service de ce projet stimulera également le développement complet de l’ensemble de la région du delta de la rivière des Perles, y compris l’équipement, les matériaux, les terminaux et d’autres aspects. On peut dire que la mise en service de cette usine de fabrication de plaquettes accélérera le rythme de la transformation industrielle et de la modernisation à Hefei.
Il est rapporté que d’ici 2025, la Chine mettra en œuvre environ 25 projets de plaquettes de 12 pouces, brisant d’un seul coup le système de monopole industriel des entreprises étrangères.
Problèmes et difficultés
Certaines difficultés ont également été rencontrées lors de la construction de l’usine et de l’acquisition du matériel. D’un point de vue technique, lors de l’utilisation de la technologie de processus 19 nm pour produire de la DRAM, la zone de lithographie en lumière jaune sous ce processus est extrêmement sensible au gaz AMC. Même un léger écart dans la qualité de l’air pur dans la zone de travail affectera directement le taux de rendement final de la production. Par conséquent, la valeur de concentration de l’environnement de processus AMC doit être strictement contrôlée tout au long du processus de production.
Solution finale
En tant que l’un des leaders mondiaux des solutions d’air pur, RZJ s’engage depuis près d’un siècle à développer des solutions de filtration hautement efficaces et économes en énergie pour l’industrie de la microélectronique, y compris la filtration des particules et l’AMC. Sa gamme complète de produits couvre des filtres à air grossiers, moyens et à haut rendement, des filtres chimiques, des filtres domestiques, des hottes à flux laminaire et d’autres équipements de purification. En réponse aux exigences de ce processus de cristallisation complexe et de haut niveau, AAF a adopté une solution de traitement des gaz chimiques à chargement FFU. Deux filtres chimiques ont été superposés sur le FFU, et des tests d’échantillonnage sur site AMC ont été fournis pour extraire et organiser rapidement et précisément les données sur la qualité de l’air dans l’environnement réel, et sur cette base, des solutions raisonnables ont été formulées.
Un contrôle de qualité strict et un système de test complet
Depuis le début, RZJ s’est donné pour responsabilité de protéger l’environnement, de réduire les risques d’entreprise et de réduire les dépenses de purification de l’air. Dans une certaine mesure, la recherche de l’excellence dans ses produits découle également de sa propre pratique. AAF possède lui-même des salles blanches en PTFE de 10 000 niveaux de haute propreté, des salles blanches de filtres à haute efficacité, des salles blanches FFU et des lignes de production de filtres industriels et commerciaux. RZJ est équipé d’installations avancées. La production est réalisée avec des processus de production standardisés et des normes de qualité strictes.
De plus, RZJ dispose d’un système de test complet. Qu’il s’agisse de filtres grossiers, de filtres à moyenne et haute efficacité, de filtres à haute efficacité et à ultra-haute efficacité, ainsi que d’équipements de filtration, RZJ effectue des tests de performance complets sur des produits conformément aux normes de test avancées de l’industrie.
Du point de vue de la production, le processus de fabrication des produits microélectroniques est complexe et nombreux, et de nombreux processus clés doivent être réalisés dans un environnement sans poussière avec une température, une humidité et une ultra-propreté constantes. Les équipements de production monobloc de grande et moyenne taille libéreront des particules et des substances chimiques à forte concentration, ce qui entraînera une baisse du rendement des produits fabriqués et entraînera d’autres risques pour la sécurité en même temps. Par conséquent, l’industrie de la microélectronique a des exigences et des normes techniques très élevées pour la conception et l’effet de propreté des salles blanches industrielles pendant le processus de production.
Système de classification SEMI F21-1102 pour quatre types de polluants gazeux
L’unité de concentration est le pptM (parties par trillion modal) de 10 à 12 trillionièmes de mole
