Dynamique interne

Classification des AMC par l’International Semiconductor Industry Association (SEMI)

SEMI F21-1016 Classification des niveaux de polluants moléculaires en suspension dans l’air en milieu propre

Les dangers des AMC

1.  Formation d’un film de gaz chimique sur la surface  Propreté de la surface du silicium Propreté du substrat du verre Surface de la lentille optique Surface en métal Surface en plastique
2.  Propriétés chimiques (par exemple, corrosion des métaux) Propriétés électriques (par exemple, implantation ionique) Propriétés physiques (par exemple, modification de surface, génération de charge statique) Propriétés optiques (par exemple, modifications de photorésistance, rendement de photolithographie) 
3.  Formation de particules « brouillard » NH3 + SO2 → sel  Gaz alcalin + gaz acide → sel
4.  Exigences EHS pour l’environnement des salles blanches (COV, gaz acides) Nuire à la santé et au bien-être des employés Applications de sécurité chimique et exigences de risque pour les salles blanches, telles que UL et FM...